技术特点
　　采用纯水、酸性等试剂，对生产中所用炉管等零部件进行清洗,能够根据不同尺寸的零部件设计不同的清洗模式，有效去除部件上的沾污，清洗效果好，清洗效率高。
　　炉管清洗设备能够满足大尺寸的炉管清洗要求，实现石英炉管全自动化槽内搬送，具有滚动清洗模式，实现省酸效果，在保护炉管不受损的同时，达到更好的清洗效果。

　　应用领域
　　用于晶圆制造及光伏、LED等领域制造过程中使用的零部件的清洗领域。