技术特点
　　采用纯水、碱性等试剂，对生产中所用陶瓷盘等零部件进行清洗,能够根据不同尺寸的零部件设计不同的清洗模式，有效去除部件上的沾污，清洗效果好，清洗效率高。

　　应用领域
　　用于晶圆制造及光伏、LED等领域制造过程中使用的零部件的清洗领域。