技术特点 该系统以软件程序控制为核心,可与生产设备信息互通,根据客户所需试剂比例自动化精准配比与混合供酸,将集中储存的液体以稳定的流量、流速和达到设定要求的压力,实现将液体供应至工艺设备,且不会造成液体泄露,在供应输送过程中不会对设备产生二次污染。
应用领域 可应用于半导体、LED、光伏、显示屏等领域。